在每種旋片真空泵中,又有單級和雙級之分。在單級泵中,由于選用的構造方式和參數不同,泵的極限壓力和用處也不同。它們的共同特點(diǎn)是構造較復雜,運用方便,能從大氣壓力下起動(dòng),可間接排入大氣,公平質(zhì)量較小,維護簡(jiǎn)便,雙級泵的極限壓力為6*10-2~1*10-2Pa,一種單級泵可達4Pa左右,另一種單級泵為50~200Pa左右。
雙級旋片真空泵的運用:
運用前,首先細心閱讀產(chǎn)品說(shuō)明書(shū),開(kāi)箱后應檢查裝運質(zhì)量,收好備品備件和技術(shù)文件,撤除排氣口防護件。按要求裝置,接線(xiàn),試轉向,水冷泵接水。
為避免因返油與反轉而噴油,應先開(kāi)啟泵口,按規則轉向把泵內存油用手盤(pán)到油箱中同時(shí)檢查油位,應在油標中心以上,但不要滿(mǎn)油標,多了要放出。判別轉向的輔佐辦法。把護套倒放在泵口上,如開(kāi)泵后被吸住,是正向,被吹落,是反向。聲響正常是正向,聲響異常響是反向。
由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿(mǎn)足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補充才能滿(mǎn)足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱(chēng)陰極濺射離子泵)對泵有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì )使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。